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一只CMP研磨盤的自述:走進(jìn)3M的匠心工藝

關(guān)鍵詞 研磨盤|2023-06-15 11:58:14|來源 3M半導(dǎo)體材料
摘要 我是一枚CMP?研磨盤,來自3M。圓圓的身形里藏著滿滿的匠心工藝......

我是一枚CMP研磨盤,來自3M。圓圓的身形里藏著滿滿的匠心工藝。

       我的公司3M,活躍于人類工作生活的各個(gè)方面,是一家經(jīng)營多元化產(chǎn)品的百年科技企業(yè)。

       然而,不止是日常使用的物品,3M的材料還出現(xiàn)在各類電子產(chǎn)品的生產(chǎn)制造過程里。我們都知道,高精度半導(dǎo)體生產(chǎn)技術(shù)的發(fā)展已經(jīng)成為了當(dāng)今科技領(lǐng)域的核心。但半導(dǎo)體制造有一套復(fù)雜的流程,需要各種材料和技術(shù)的完美配合。作為制造過程中重要的一環(huán),修整晶圓表面的CMP技術(shù),即化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù),對(duì)材料的選擇和性能要求非常高。

       CMP的作用是在晶圓片加工中去除表面多余的材料,保證晶圓表面的平整度和光潔度,從而保證半導(dǎo)體芯片的性能。

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       CMP材料的大家族里有研磨盤、研磨墊、研磨刷等多種產(chǎn)品。作為CMP材料的明星單品,我的應(yīng)用廣泛,涵蓋了從高端芯片到普通電子產(chǎn)品的生產(chǎn),包括DRAM、Flash、CMOS、CPU等,可以適應(yīng)各種半導(dǎo)體制造工藝和要求,全心全意為半導(dǎo)體制造商帶來更高的產(chǎn)量和更佳的質(zhì)量。我的公司3M目前已經(jīng)開發(fā)了2個(gè)系列的產(chǎn)品:3M? Trizact? 研磨盤及3M? 鉆石研磨盤,從整體形狀到尖端形狀再到高度分布,幾乎每一方面都可以在微觀尺度上進(jìn)行定制,按照您喜歡的程度進(jìn)行修整。

       作為一位 “平整大師”,我采用3M公司專有的微復(fù)制工藝,使用具有類鉆涂層的陶瓷或鉆石材料,能夠有效控制研磨壓力和溫度??梢蕴峁└咝У难心バЧ畲蟪潭鹊販p少磨損,保證研磨過程中的穩(wěn)定性和可重復(fù)性。

       此外,我還是一名“材料兼容家”。我可以適應(yīng)包括硅、氮化硅、氧化鋁等各種材料和要求,具有優(yōu)異的切削性和光潔度,保證芯片表面的平整度。

       一道道優(yōu)良的工藝讓我擁有長壽基因,具備高度的耐磨性,可以大幅度降低生產(chǎn)成本和工藝調(diào)整的次數(shù)。

       CMP研磨盤修整毛刷是我的好搭檔,它的刷毛獨(dú)立固定并均勻分布于刷子表面,可以在研磨過程中有效地清除碎屑,有效分配研磨液。

 

       作為一家科技企業(yè),我的公司3M不斷推進(jìn)半導(dǎo)體制造技術(shù)的研發(fā)和應(yīng)用,為市場提供優(yōu)質(zhì)的CMP材料和其他半導(dǎo)體制造相關(guān)材料和方案,包括晶圓保護(hù)、先進(jìn)封裝材料等,為半導(dǎo)體制造商提供全面的技術(shù)支持,幫助半導(dǎo)體廠商提高生產(chǎn)效率,降低成本,提高產(chǎn)品質(zhì)量和市場競爭力?!翱萍?,改善生活”的信念一直活躍于百年的3M公司中。盡心攻克半導(dǎo)體生產(chǎn)制造的材料難題,于是一只先進(jìn)的CMP研磨盤由此誕生,我們希望幫助您塑造半導(dǎo)體行業(yè)的未來。

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