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湖南大學(xué)提供磨料解決半導(dǎo)體材料解決方案

關(guān)鍵詞 研磨|2007-10-31 00:00:00|來(lái)源 中國(guó)磨料磨具網(wǎng)
摘要 10月29日,湖南大學(xué)向外界透露,由該校電氣與信息工程學(xué)院博士生導(dǎo)師戴瑜興教授領(lǐng)銜的課題組,日前成功研制出一款高檔機(jī)型-XQ300A高精度數(shù)控多線切割機(jī)床,其核心原創(chuàng)技術(shù)已通過(guò)由中...
10月29日,湖南大學(xué)向外界透露,由該校電氣與信息工程學(xué)院博士生導(dǎo)師戴瑜興教授領(lǐng)銜的課題組,日前成功研制出一款高檔機(jī)型-XQ300A高精度數(shù)控多線切割機(jī)床,其核心原創(chuàng)技術(shù)已通過(guò)由中國(guó)工程院院士范滇元為主任委員的專家組鑒定。
    
  多線切割是一種通過(guò)金屬絲的高速往復(fù)運(yùn)動(dòng)把磨料帶入半導(dǎo)體加工區(qū)域進(jìn)行研磨,將半導(dǎo)體等硬脆材料一次同時(shí)切割為數(shù)百片薄片的一種新型切割加工方法。目前世界上僅有瑞士、日本等國(guó)家能制造數(shù)控多線切割機(jī)床。
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